ZKXJ-GL3是一款爐管內徑為 6" 的真空管式爐 , 它可以在5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術參數
爐體結構 | 雙層殼體,循環風冷. 爐體表面溫度< 70 oC 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能
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工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規格 | 6" O.D x 40" 長 標配內包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購
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加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 | 工作溫度: 400 -1100°C 升降溫速率: 10°C/min(max)
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加熱區 | 加熱區總長: 600mm (24'') 恒溫區長度: 中心200mm (精度±1°C) 在800℃時爐膛溫度分布曲線

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控溫儀 | 采用30段可編程PID數字溫度控制器 設有一個額外的溫度校準檢測系統 雙K型omega原裝熱電偶測溫. 溫控精度: ±1°C 軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購 可選: PC接口和軟件

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密封法蘭和進氣接口 | 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內 右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型omega原裝熱電偶) 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射 
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| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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產品尺寸 | 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm |
凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
質量認證 | Certificate |