piPC90 集成Baratron® 的壓力控制器,集成壓力顯示器,可控制上游或下游壓力。滿量程范圍:1000 Torr – 100psia,控制精度:滿量程的±0.2%,通訊接口:DeviceNet、RS-485、模擬。
piPC99 集成Baratron® 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器,集成壓力/流量顯示器,可控制下游壓力。壓力滿量程范圍:1000 Torr – 100psia,流量滿量程范圍:10 – 30000sccm,控制精度:滿量程的±0.2%,通訊接口:DeviceNet、RS-485、模擬。
640B 壓力 / 641B 表讀壓力集成Baratron® 的壓力控制器,可控制上游或下游壓力。滿量程范圍:10 Torr – 100psia,控制精度:滿量程的±0.2%。
649B 集成Baratron® 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器,可控制下游壓力。壓力滿量程范圍:10 – 5000Torr,流量滿量程范圍:10 – 5000sccm,控制精度:滿量程的±0.2%。
DPC 雙區(qū)壓力控制子系統(tǒng)。集成了氣動隔離閥,雙Baratron® 的帶流量監(jiān)測的閉環(huán)壓力控制器。用于硅片背面氦氣冷卻系統(tǒng)。

















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