ZC209 半導體工藝Chiller 冰水機
Chiller ZC209是一臺對循環液進行溫度控 制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩定性 高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信 等豐富功能。采用優良的制冷及溫度控制 技術,具有廣泛的溫度范圍: -20℃ 至+90℃,在半導體制作過程/激光加工機 /分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等 行業用途廣泛。
應用
應用于半導體、激光、FPD, 如 :
半導體(蝕刻裝置、CMP、涂布機 ·顯影機、試驗機、清洗機)
激光(激光加工機 ·激光焊接機、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查 裝置、二次電池制造工程)
可適用于廣泛的行業,如制藥、化工、新能源、半導體、實驗室、高校等多種領域。
特點
· 寬溫度范圍:-20℃~ +90 ℃
· 溫度精度高:靜載時可達 ±0.5℃
· 觸摸屏操作:友好的人機 交互界面,支持遠程通信 操作、歷史數據存儲與導 出
· 多重保護:超溫超壓干燒 漏電以及誤操作等多重人 機保護
· 運行穩定可靠:元件均采 用器件,自研控制系 統高效穩定







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