適用于清潔、快速且減少湍流的回填過程

Gasplate擴散器可以輕松安裝到真空系統中。它非常適用于清潔、快速且減少湍流的回填過程。使用這些擴散器的結果是增加產品產量和設備吞吐量。在正確安裝并在指定的操作條件下使用時，它們還能保持產品完整性長達3,000,000次循環。Gasplate擴散器廣泛應用于半導體設備接口（CVD、PVD、Etch、Epi）或其他真空室的裝載鎖腔體、傳輸腔體、冷卻腔體和工藝腔體等通風應用中。它們用于需要在短時間內傳遞大量氣體流的場合。

產品特色
- 的 S316L 不銹鋼材質
- 適用于高壓的系統管路
- 可以作為表面密封的過濾器，所以不需要額外的工作（切割/焊接管道用于過濾器安裝）
- 適用于高溫環境應用