耐高溫、動態高壓、超高顆粒攔截效率
優異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
Gasfil系列超純氣體過濾器,采用整體316L不銹鋼結構,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用進行設計,過濾精度可達0.003um。
產品特色
- 整體316L不銹鋼結構
- 超高顆粒攔截效率,高通量、低阻力
- 適合高溫應用
- 結構緊湊
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環境內制造、測試、包裝
- 99%完整性測試通過
- 99%氦氣泄露檢測通過
典型應用
- 高溫、動態高壓應用過濾選擇
耐高溫、動態高壓、超高顆粒攔截效率
優異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
Gasfil系列超純氣體過濾器,采用整體316L不銹鋼結構,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用進行設計,過濾精度可達0.003um。
產品特色
- 整體316L不銹鋼結構
- 超高顆粒攔截效率,高通量、低阻力
- 適合高溫應用
- 結構緊湊
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環境內制造、測試、包裝
- 99%完整性測試通過
- 99%氦氣泄露檢測通過
典型應用
- 高溫、動態高壓應用過濾選擇
*您想獲取產品的資料:
個人信息: