FPLE 系列光化學過濾器為一字型排布接口，搭配管路接頭均可實現快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、

光抗蝕劑等光化學試劑，應用范圍廣泛。

產品特點

化學兼容性： 顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑

低析出： 金屬離子、有機物、非揮發(fā)性

殘留物物質低析出管控。

超凈工藝： 加強清洗技術減少顆粒脫落

和微氣泡形成。

靈活適配： 多種膜材料（UPE、Nylon、

PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選

技術參數

• ‌濾材‌：超高分子量聚乙烯、尼龍、疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）
• ‌骨架與端蓋‌：高密度聚乙烯（HDPE）
• ‌支撐與分水層‌：高密度聚乙烯（HDPE）
• ‌密封圈‌：全氟醚（FFKM）
• ‌使用溫度‌：40℃
• ‌操作壓力‌：3.4bar@25℃
• ‌正向壓差‌：2.7bar@25℃
• ‌有效過濾面積‌：3000 cm² 至 3200 cm²