精密運動位移臺
精密運動位移臺基于步進電機驅動和高精度導向模組實現納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內置光柵位移傳感器，結構緊湊，通過自主研發的高性能納米伺服系統獲得優異的閉環控制效果，具有高精度、高速、高動態位移定位和掃描功能。
1、典型應用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光學
超分辨成像樣品移動
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準及調姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術特點
步進電機驅動精密設計
嵌入式納米位移傳感器系統
超高指向精度、高動態、低噪聲
無摩擦、零間隙、免裝配
多運動模式:定位/掃描
超長行程
3、規格參數
JKZC-SM-25 | JKZC-SM-50 | JKZC-SM-100 | JKZC-SM-300 | JKZC-SM-500 | 單位 | |
運動軸 | X | |||||
驅動類型 | 步進電機 | |||||
X閉環行程 | 25 | 50 | 100 | 300 | 500 | mm |
豎直大負載 | 5-25 | kg | ||||
分辨率 | 1.22/12.5 | nm | ||||
最小步長 | ±100 | nm | ||||
重復定位精度 | ±500 | nm | ||||
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |||||
工作溫度 | 10-50 | ℃ | ||||
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |||||
電氣接口 | D-sub9(可定制) | |||||
線纜長度 | 2 | m | ||||
真空(可選) | 超真空兼容(5x109) | mbar | ||||
4、適配控制器
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