在半導(dǎo)體制造、食品保鮮、化工合成等行業(yè)中，高純度氮?dú)馀c惰性氣體（如氬氣、氦氣）是不可huo缺的工藝介質(zhì)。然而，即便是微量的水分，也可能導(dǎo)致產(chǎn)品氧化、催化劑失活或工藝偏差。因此，在制氮機(jī)或惰性氣體發(fā)生器出口對(duì)氣體露點(diǎn)進(jìn)行在線監(jiān)測(cè)，已成為保障氣體干燥度符合工藝要求的核心環(huán)節(jié)。英國肖氏（SHAW）推出的SUPER-DEW3在線露點(diǎn)儀，正是為這一場(chǎng)景量身打造的可靠方案。

為純度而生的硬核實(shí)力

SUPER-DEW3搭載SHAW超高電容氧化鋁傳感器，整體露點(diǎn)精度達(dá)±2°C（±3.6°F），重復(fù)性優(yōu)于±0.3°C，分辨率高達(dá)0.1°C，能夠精準(zhǔn)捕捉氣體中微量水分的變化。 量程覆蓋-100°C至+20°C全范圍，提供紫色（P）、銀色（S）、灰色（G）、紅色（R）、藍(lán)色（BL）五種可選傳感器，其中紅色（R）和銀色（S）量程專為-80°C至-20°C、0至1000 ppm(v)的高純氣體檢測(cè)設(shè)計(jì)，完mei匹配氮?dú)馀c惰性氣體的干燥度要求。

儀器標(biāo)配隔離的4-20 mA線性模擬輸出，量程可在傳感器全范圍內(nèi)自由配置，便于接入DCS或PLC系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)集中管控。 兩個(gè)wan全可編程的報(bào)警繼電器可獨(dú)立設(shè)置，超過設(shè)定點(diǎn)僅0.1°C即觸發(fā)報(bào)警，在240V交流電下額定電流10A，一旦出口露點(diǎn)超標(biāo)便立即報(bào)警，防止不合格氣體流入下游工藝。

現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用：讓每一方氣體都達(dá)標(biāo)

在PSA制氮機(jī)出口處，SUPER-DEW3可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氮?dú)饴饵c(diǎn)是否維持在-40°C至-60°C的工藝要求范圍內(nèi)。當(dāng)分子篩吸附性能下降、出口水分升高時(shí)，報(bào)警繼電器迅速動(dòng)作，操作人員可及時(shí)切換備用機(jī)組或啟動(dòng)再生程序，避免濕氮進(jìn)入半導(dǎo)體晶圓清洗或食品充氮包裝等敏感環(huán)節(jié)。

在氬氣生產(chǎn)中，由于惰性氣體廣泛用于焊接保護(hù)和金屬冶煉，對(duì)水分極為敏感。SUPER-DEW3的響應(yīng)時(shí)間短——干到濕小于20秒，濕至干小于120秒，能夠快速反映氣體干燥狀態(tài)的變化。 加上僅5秒的預(yù)熱時(shí)間，幾乎實(shí)現(xiàn)開機(jī)即測(cè)，大幅提升了生產(chǎn)節(jié)拍。

值得一提的是，SUPER-DEW3支持儀表與傳感器距離超過1000米，儀表可安于中央控制室，傳感器直接安裝在制氮機(jī)出口管道上，部署靈活且互不干擾。

SUPER-DEW3以高精度、快響應(yīng)和強(qiáng)報(bào)警功能，為氮?dú)馀c惰性氣體的生產(chǎn)質(zhì)量筑起了一道可靠的水分防線，是氣體純化工藝中值得信賴的在線監(jiān)測(cè)伙伴