這部分材料討論的是低溫泵怎么應用在光學鍍膜過程能夠降低成本，提高循環周期和生產力，同時極大地增加膜層粘合性和硬度以及可連續重復運行性。

    加工和制造光學膜的工藝越來越復雜。為了同時滿足鍍膜的產量和質量，需要解決大量的棘手問題。從襯底的清洗和準備到zui終檢驗和測試，而鍍膜工序是真正的麻煩工序。

    擴散泵已經應用在光學鍍膜工業上大約30年了，很多人用習慣了，隨著對鍍膜質量要求的提高，需要更好的真空獲得設備。好在我們有了低溫泵，它能提供潔凈、無油的真空;不僅如此，甚至在人員操作失誤、斷電和設備故障時，腔體和加工件都不會被污染。這與擴散泵系統故障后的情況形成鮮明的對比。擴散泵系統若出現上述故障，需要進行拆卸、清洗、重新組裝、檢漏和過程重新檢查等處理過程。突然的真空度故障后，常規處理需要花費幾天到一個禮拜的時間。

    低溫泵自身不放氣：低溫泵沒有熱的元件來造成放氣，也不會使水蒸氣熱分解成氫氣和氧氣或產生甲烷。

    而且，因為沒有流體、移動部件或密封暴露在真空中，所以腐蝕、污染等故障都沒有。

    鍍膜質量、可重復性、生產能力

    低溫泵抽速大，能縮短鍍膜周期，提高產量。在低溫泵中*暴露在真空系統中的表面是低溫冷凝板，它可以保持足夠低的溫度來冷凝并且容許鍍膜腔內所有的氣體進入低溫泵。低溫泵可提供對水的大抽速而不需任何液氮。低溫泵對其他氣體的抽速比相同尺寸的液氮冷阱/擴散泵組合大約高50％~100％。這些在抽速上的提高意味著在很短的時間就可達到所需的真空度，而且在處理過程中相同的條件下可使像氫氣和氧氣這樣的反應氣體的分壓減少50％以上。

    某公司在介紹把擴散泵換成低溫泵后的好處時說“使用低溫泵后，我們在每次鍍膜時達到非常好的可重復性（一致性），我們已不再需要進行試驗和測試鍍膜，除非是一項新的鍍膜產品進行鍍膜時。甚至在更換操作人員和復雜的鍍膜時仍能維持好的可重復性。”

    低溫泵提供的高質量真空增加鍍膜產品的生產量和質量。以前，當公司的鍍膜使用油擴散泵時，因粘著性和硬度測試達不到要求使5lOmm和32英寸（810mm）腔體的二次鍍膜率分別為1/8和1/10，而在安裝運用低溫泵后的二次鍍膜率為0。運用低溫泵后生產的膜層密集、堅固，并且有很好的抗磨損性。

   即使使用的zui貴的合成擴散泵油，采用高的真空腔體切換壓力，也需要防止低真空泵返油：油遷移到感光底層或內部腔體壁和表面上并在那里聚合。因此，隨著一次次鍍膜的進行，污染物通過除氣作用重新釋放到腔體。腔體變得越來越臟，造成粘著性和針孔問題使得產量減小。zui靠近污染的腔體壁的光學鍍膜遭受的影響zui大。換成低溫泵后消除了返油造成的污染。

    低溫泵不會因為短暫電壓的降低或斷電而使得昂貴的鍍膜層損壞。低溫泵可以依靠它的低溫環境來維持它的真空度并且能在斷電后繼續抽氣10至20分鐘。這對于斷路器復位已經足夠長的時間了，并且可以挽救生產中潛在的危險。

    正常使用情況下，低溫泵和壓縮機應該長期運行2萬至3萬小時而無需檢查。有些用戶的泵在沒有進行任何檢查的情況下已經運行了6萬小時或更長的時間。

    定期的維護主要在于每運行l萬小時后需要更換壓縮機單元內不太昂貴的吸附器。另外，由于低溫泵是一個誘捕吸附泵，且是用腔體來凝結和儲存氣體的，所以定期進行再生是必要的，這是一個很簡單的處理方式，能被大家普遍接受。

    低溫泵的再

    低溫真空泵再生

    低溫真空泵再生典型過程：首先讓低溫冷凝板回溫到環境溫度，接著抽真空到5×10-2?1×10-1。托，zui后重新啟動低溫泵冷卻冷陣到合適的工作溫度。

    低溫泵的再生不需要很頻繁。一個有48英寸的真空腔體的鍍膜設備，鍍膜時兩班輪換運轉，且每班鍍膜12次，僅需要大約每兩同或在120次鍍膜之后進行一次再生。當然在條件下很頻繁的再生也許是必要的。例如，在水蒸氣負載高的情況下在塑料襯底上鍍四層膜，30分鐘的循環一次，平均每天鍍32次，產量超過3.8萬件。

    是有計劃的進行再生，可以在用戶方便的情況下定期進行，典型的就是在周末不需操作人員看護下進行。甚至用微處理器控制的自動再生系統在車間關門后沒有生產運行干擾情況下完成再生。從泵被隔開、關機、純化和加熱，到粗抽和重新啟動運行的整個再生循環是*無需手動的。

    許多低溫泵用戶把再生安排在周一早上較早的進行，以便于使系統準備好為*班所用。在某些情況下，兩臺低溫泵可以同時進行再生。

    什么情況下需要再生?這很容易通過檢測低溫泵溫度的上升來確定，可以觀察氫蒸氣壓溫度計;或檢測系統工作壓力是否有緩慢的升高。   使用低溫泵后，薄膜質量更好收益更高，并且生產量更高。這已經吸引了大部分光學鍍膜廠家和激光產品生產者幾乎100％地換成使用低溫泵。可以預計，由于競爭壓力和對高質量光學鍍膜的需求，促使光學鍍膜公司全部轉為使用低溫泵