電子級超純氣體高效過濾
優異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
GIST超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發設計,過濾精度可達3nm,設備結構緊湊,強度高,與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性,特別適用于惰性氣體和反應性氣體的過濾。
產品特色
- 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優異的化學相容性
- 耐高溫、高壓
- 100%完整性測試
- 100%氦氣泄漏測試
- 潔凈室制造和包裝
電子級超純氣體高效過濾
優異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
GIST超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發設計,過濾精度可達3nm,設備結構緊湊,強度高,與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性,特別適用于惰性氣體和反應性氣體的過濾。
產品特色
- 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優異的化學相容性
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- 100%完整性測試
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